Transparent Wafer Sensor Kit Tool Upgrade für ein CMP-System

Art KD_8_2_Z1 Kerndaten für die Bekanntgabe von vergebenen Aufträgen und abgeschlossenen Rahmenvereinbarungen
Bezeichnung Transparent Wafer Sensor Kit Tool Upgrade für ein CMP-System
Kategorie (CPV Hauptteil) 38540000 Maschinen und Geräte zum Prüfen und Messen
Auftraggeber
Lieferant EBARA Precision Machinery Europe GmbH
Verfahrensart Direktvergabe
Art des Auftrags Lieferauftrag
Beschreibung Ziel der gegenständlichen Ausschreibung ist die Beschaffung einnes "Transparent Wafer Sensor Kit Tool Upgrade" für ein CMP-System.
Tag Vertragsabschluss 20.08.2026
Anzahl eingegangener Angebote 1
Anzahl eingegangener Angebote (KMU) 0
Auftragswert 100.358,00
Version 1, XML, zuletzt aktualisiert: 26.08.2026