EBL - Electron beam lithography system

Art KD_8_2_Z1 Kerndaten für die Bekanntgabe von vergebenen Aufträgen und abgeschlossenen Rahmenvereinbarungen
Bezeichnung EBL - Electron beam lithography system
Kategorie (CPV Hauptteil) 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Auftraggeber
Lieferant SEMTech Solutions, Inc.
Verfahrensart offenes Verfahren
Art des Auftrags Lieferauftrag
Beschreibung Lieferung, Installation, Test- und Abnahme eines EBL (Electron Beam Lithography system) am Campus des ISTA.
Tag Vertragsabschluss 05.11.2025
Anzahl eingegangener Angebote 1
Anzahl eingegangener Angebote (KMU) 1
Angabe/Anzahl KMU der Auftragnehmer ist 1
Auftragswert 1,00
Angabe ob Auftragswert OSB oder USB Oberschwellenbereich (OSB)
Version 1, XML, zuletzt aktualisiert: 08.02.2026