Materials Center Leoben Forschung GmbH9110016128535beschaffung@mcl.athttps://landsteiermark.vergabeportal.at/Detail/135411https://landsteiermark.vergabeportal.at/Detail/135411<P>3D-Feldemissions-Rasterelektronenmikroskopis bestehend aus einem FEG SEM, FIB, EDX, EBSD und optionalem TOF-SIMS</P> B/2022/01

Diese Beschaffung umfasst ein höchstauflösendes Feldemissions-Rasterelektronenmikroskopie-System mit EDX- und EBSD-System mit optionalem TOF-SIMS, welche im Bereich der elektronenmikroskopischen Charakterisierung von metallischen, und keramischen Werkstoffsystemen sowie im Bereich der Mikroelektronik (Bulkmaterialien, dünne Schichten, sowohl polykristalline als auch monokristalline Werkstoffe (hier vorrangig beschichtete Si-Wafer) eingesetzt werden soll

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